半導(dǎo)體、集成電路用超純水系統(tǒng)
工藝流程
預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→中間水箱→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2精密過濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)(最新工藝)
預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥17MΩ.CM)(最新工藝)
應(yīng)用領(lǐng)域
◆化工材料的生產(chǎn)和加工過程所用的溶劑及清洗過程
◆超純材料和超純化學(xué)試劑
◆實(shí)驗(yàn)室和中試車間
◆電子半導(dǎo)體、集成電路板上用到的化工材料
◆石英、硅材料生產(chǎn)、加工、提純
◆高純墨水、傳真打印機(jī)中的噴墨、納米墨水
